超纯水处理系统

超纯水(UPW)，指水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度，且电阻率达到相关标准的水。通常电子行业应用较多的为电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值（25℃）的水。在集成电路工业中超纯水常用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。超纯水处理系统通常包括纯水制备、纯水的输送和分配、纯水的回收和处理。具体分为预处理系统（Pretreatment）、一次纯水制备系统（Make up）、精处理系统（Polish）、分配系统（LOOP）—一次配&二次配、回收系统（Reclaim）和加药系统（Dosing）几部分组成；涉及到的水处理工艺设备包括换热器、MMF、ACF、反渗透RO、UV杀菌器、TOC 分解机台、EDI、2B3T、抛光混床、MB、MDG、超滤UF等。